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激光干涉儀檢測原理
點(diǎn)擊次數(shù):2662 更新時(shí)間:2020-11-10
 
   激光干涉儀是一種利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測量儀器,測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。也被用來描述使用光波研究位移變化的技術(shù)。這種位移測量干涉法廣泛應(yīng)用于精密加工中的標(biāo)定和機(jī)械級運(yùn)動控制。

激光干涉儀

  激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。
  若光程差沒有變化時(shí),探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí),探測器會在每一次光程變化時(shí),在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。
  激光干涉儀是以波長為基本計(jì)量單位的,多波長激光器的發(fā)展,是實(shí)現(xiàn)不同長度“尺子”的基礎(chǔ)。激光器可以穩(wěn)定地輸出多種波長的激光,利用光學(xué)拍波技術(shù),可以將這些單波長合成為一組波長相近、間隔均勻的“合成波長鏈”。“合成波長鏈”是一個(gè)塔形結(jié)構(gòu),塔頂是高一級合成波,其波長長,塔底則是單波長。測量時(shí),干涉儀以不同波長的激光工作,從長波開始,逐級下降,直至單波長。的測量結(jié)果是在各種波長干涉下的一組剩余相位,以此可推導(dǎo)出總測量長度,由于每次的測量值都是剩余相位,與測量過程無關(guān),儀器因此不需要導(dǎo)向?qū)к墶?/div>
 
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